工信部印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》

人民网北京9月15日电 （方经纶）据工业和信息化部官网消息，工信为促进首台（套）重大技术装备创新发展和推广应用，部印加强产业、发首财政、台套推广游泳在线博彩公司金融、重大装备指导科技等国家支持政策的技术游泳在线免费投注协同，工业和信息化部近日印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》（以下简称《指导目录》），应用其中在电子专用装备目录下，目录“集成电路生产装备”包括氟化氩光刻机，年版光源193纳米，工信分辨率≤65nm，部印套刻≤8nm。发首

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《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》截图。